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虽然您会发现使用光刻模拟在生产环境中发布的材料较少[40-42]，但其原因是在生产中人为地限制了发布，而不是使用光刻模型。 在生产环境中，仿真使用三个主要目标：减少必须通过生产线进行的测试或实验晶圆的数量; 找出FAB中的故障问题; 通过提供真实的信息，它有助于在决策中支持工程判断和直觉。

在生产线上运行测试晶圆消耗太多，不是因为测试成本，而是因为不运行产品可能的成本[43]。 如果能减少生产线上不运行产品的模拟时间，哪怕是一点点，投资回报也会很高。 仿真还有助于使新流程上线，并在所需的时间范围内建立新流程的基线能力。

虽然不是完整的列表，但生产环境中最常见的光刻仿真示例包括：

薄膜覆盖优化。

处理窗口。

NA优化。

OPC 验证。

CD、CPK 分析的益处有限。

根本原因分析疑难解答。

这些示例用法将在后面的部分中更详细地介绍。

房东，绝对是自己翻的，希望能用到。

c.制造工具。

尽管人们会在光刻模拟之上找到相对较少的已发表材料。

制造业环境[40-42]，究其原因在于制造业的出版人有限。

不使用有限光刻模型。 在制造环境中使用仿真。

有三个主要目标：减少测试次数，或者必须通过实验晶圆运行才能完成。

生产线，对障碍的优秀修复问题，并通过提供事实来帮助决策。

支持工程裁判和直觉。 竞速测试晶圆以完成一条生产线是昂贵的。

如此多的成本测试是合适的，但由于机会成本不会与产品竞争[43]。如果模拟。

为了减少生产线的时间，哪怕是一点点的产品竞争，这又回到了投资罐子上。

为新程序建立基线能力。 虽然不是完整的目录，但最常见的。

在制造环境中模拟的光刻用例包括：

短片堆叠优化。

程序 Windows**。

NA优化。

OPC 验证。

激光光盘产量，CPK分析。

故障修复 根本原因分析。

这些用例将在后面的章节中更详细地描述。